淩雲光承擔國家重點研發計劃通過項目中期評審

日前，由淩雲(yun) 光參與(yu) 的科技部2019年國家重點研發計劃“矽基MEMS高深寬比結構多模式光學測量技術"項目中期評審會(hui) 在中國科學院微電子研究所召開。值得一提的是，該項目是淩雲(yun) 光承擔的國家重點研發計劃項目。

本次會(hui) 議由工信部產(chan) 業(ye) 發展促進中心組織，專(zhuan) 家組組長由東(dong) 南大學黃慶安教授擔任，來自中科院微電子所、天津大學、華中科技大學、淩雲(yun) 光、北京大學等課題承擔單位，以及負責第三方評測的中國計量院的專(zhuan) 家等30餘(yu) 名代表到會(hui) 。淩雲(yun) 光作為(wei) 項目課題4的負責單位，團隊成員張騰飛、胡伯源、何明揚、蘆恒雪、趙書(shu) 芬代表公司參加評審。

會(hui) 上，項目負責人陳曉梅從(cong) 項目背景與(yu) 目標、總體(ti) 進展、階段性成果、中期現場檢查情況及整改、財務與(yu) 組織管理等方麵，對MEMS高深寬比陣列、單體(ti) 微溝槽深度、側(ce) 壁角等測量難度與(yu) 實現方法等內(nei) 容進行了詳細匯報。隨後，各課題1-5的代表做分課題的匯報，課題4核心骨幹張騰飛對課題主要承擔的無損測量驗證樣機開發，包括軟硬件設計、結構設計等思路要點，以及相關(guan) 的階段性成果做了充分的介紹與(yu) 說明。

與(yu) 會(hui) 專(zhuan) 家組認真聽取了項目匯報，審查了項目中期檢查資料，現場觀看了項目實驗平台的搭建與(yu) 演示，對項目相關(guan) 情況進行了質詢，項目負責人及相關(guan) 課題負責人對專(zhuan) 家組提出的質詢進行了詳細回複。專(zhuan) 家組對項目中期進展情況給予了充分肯定，一致同意項目通過中期檢查，並對項目的下一步實施提出了相關(guan) 建議。

此次順利通過工信部中期評審，標誌著項目已完成中期預定任務、達到中期預期目標，進入項目最終目標實施階段。